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- 氟橡胶O型圈
- O形圈
航空航天密封件通常采用全氟弹性体(FFKM)材料,该材料在耐高温性和耐化学腐蚀性方面均处于橡胶密封件的最高水平。它兼具聚四氟乙烯(PTFE)优异的耐化学性能与传统橡胶的弹性,能够耐受1600多种化学品,广泛应用于半导体、石油化工和航空航天等极端工况领域。
核心性能参数
温度范围:通常为-20℃至+325℃,部分高端牌号可在短时暴露下耐受高达+350℃的高温。
耐化学性:对强酸、强碱、有机溶剂、胺类、醚类及其他强腐蚀性介质具有极强的耐受能力。
抗压缩永久变形性能:在高温高压条件下仍能保持优异的回弹性能,泄漏风险极低。
高纯度:低放气且具备出色的等离子体耐受性,特别适用于洁净室及高真空环境。
温度范围
连续使用温度:通常为‑30℃至+325℃。高端牌号(如用于半导体或航空航天领域)的连续使用温度可达+300℃至+325℃。
短时峰值温度:可承受高达+316℃至+340℃。
耐化学性和耐溶剂性
对几乎所有化学介质均呈惰性,包括强酸(如王水和浓硫酸)、强碱、酮类、酯类、醇类、燃料油、各类溶剂以及蒸汽等。
物理与机械性能
硬度范围:通常为邵氏A 60至90。
压缩永久变形:在长期高温压缩条件下表现优异,通常控制在15%–30%。
拉伸强度:约为10–17 MPa。
表面及特殊性能
纯度与放气特性:放气量低,适用于高真空环境及半导体洁净室。
耐等离子体性能:在半导体干法刻蚀工艺中具有出色的抗等离子体侵蚀能力。
尺寸标准
完全符合国际标准,涵盖公制尺寸(常见截面尺寸为1 mm至5 mm),并兼容AS568(美国标准)及JIS(日本标准)。
半导体制造:用于干法刻蚀、湿法清洗及化学气相沉积(CVD)等核心工艺腔室,能够耐受强腐蚀性气体和等离子体。
石化行业:应用于强腐蚀性介质的管道、机械密封、泵和阀门,以在高温高压条件下防止流体泄漏。
精细化工行业:用于与强溶剂、强酸和强碱接触的反应器及管道的密封。
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