Xiamen Innovacera Advanced Materials Co., Ltd.2025-01-24
用于PVD ALD和CVD系统的BN陶瓷
谈到沉积技术，我们不得不提到物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD），它们是为半导体、电子、航空航天工业制造高精度元件的基础。的多功能性和特性氮化硼(BN)陶瓷使它们成为PVD、ALD和CVD系统中的关键部件。这里我想谈谈BN陶瓷在这些体系中的作用。氮化硼陶瓷由排列在晶格结构中的硼和氮原子组成。它们可以以六边形（HBN）存在，这是最常用的形式，因为它与石墨相似，使其成为极好的润滑剂和绝缘体。另一方面，立方BN以其硬度而闻名，接近金刚石。PVD系统中的BN陶瓷PVD系统...