Ursprünglich im Jahr 2004 als europäischer Distributor von INUSA, Inc. und Lorex Industries, Inc. gegründet, kann die POSAS GmbH Ozonanalysatoren und Zerstörungseinheiten anbieten .
Außerdem bieten wir Sensorprodukte zur Verbesserung der Gesamtanlageneffizienz (OEE) über Advanced Process Control (APC) an, wie den Piezocon-Konzentrationssensor für eine präzise Vorläuferzufuhr, NDIR-Endpunktdetektoren für NF3-Reinigungen, CO2 … und In-situ-Wafertemperaturmessung .
Auch für Europa werden Durchflussregler und Upgrades von Applied Precision, LLC angeboten.
Heute ist POSAS auch ein Spezialist für Inline-Überwachungssysteme für chemische Zusammensetzung und physikalische Eigenschaften von Nassprozessen, basierend auf IR- oder UV-Technologie, für die Halbleiter- und Solarindustrie.
Wir werden routinemäßig gebeten, technische Audits von Precursor-Delivery-Systemen sowie von Dopant-Delivery-Systemen im FAB herauszugeben durchzuführen und spezifische Empfehlungen zur Verbesserung der Leistung installierter Gaszufuhrsysteme , um eine strengere Delivery-Kontrolle der Precursoren zu erreichen, wie von anspruchsvolleren gefordert Prozesskontrolle oder zur Umsetzung eines kostengünstigeren Einsatzes von Vorläuferchemikalien.
Basierend auf Continuous Wave Cavity Ring-Down Spectroscopy (CW-CRDS) bieten wir spezielle Spurenanalysatoren und Umgebungsluftmonitore für eine Vielzahl von Spezies an, darunter Feuchtigkeit, Ammoniak, Methan, Sauerstoff, Bromwasserstoff, Fluorwasserstoff, Chlorwasserstoff, Formaldehyd, und mehr. Die Instrumente arbeiten in einer Vielzahl von Matrizen, einschließlich toxischer, korrosiver und Hydridgase.