微型光谱仪  制造商、经销商、供应商

FRT是世界领先的用于研发和大规模生产的三维计量学供应商之一。FRT MicroProf®在半导体前端、高级封装、MEMS、VCSEL、汽车、机械工程、光学、LED和医疗市场都有一定的地位。
第三代超稳定平台和专有软件是超过25年的经验的结晶。FRT多传感器概念和混合测量技术支持世界各地的生产线。其应用是非接触和全自动的。测量参数有地形、台阶高度、粗糙度、TTV、曲率、翘曲度、张力、层和叠层厚度、叠层和CD - 以及更多。
不同的测量方法可以与点、线和面积传感器以及层厚传感器和原子力显微镜结合在一个测量设备和配方中。
屡获殊荣的测量系统提供（也是全自动的）关于地形、结构、台阶高度、粗糙度、磨损、层厚和许多其他参数的信息，非接触和非破坏性。
根据不同的应用，不同的测量方法与点、线、面积和层厚传感器以及原子力显微镜可以结合在一个测量设备中 - 测量范围可以从一米延伸到亚纳米范围。