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第三代超稳定平台和专有软件是超过25年的经验的结晶。FRT多传感器概念和混合测量技术支持世界各地的生产线。其应用是非接触和全自动的。测量参数有地形、台阶高度、粗糙度、TTV、曲率、翘曲度、张力、层和叠层厚度、叠层和CD - 以及更多。
不同的测量方法可以与点、线和面积传感器以及层厚传感器和原子力显微镜结合在一个测量设备和配方中。
屡获殊荣的测量系统提供(也是全自动的)关于地形、结构、台阶高度、粗糙度、磨损、层厚和许多其他参数的信息,非接触和非破坏性。
根据不同的应用,不同的测量方法与点、线、面积和层厚传感器以及原子力显微镜可以结合在一个测量设备中 - 测量范围可以从一米延伸到亚纳米范围。
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通过PROGAZE,tec5提供了一个全面的光谱平台,涵盖紫外、可见、近红外和拉曼。PROGAZE使集成商和用户能够快速轻松地创建集成到工业生产流程中的光谱解决方案,具有独特的功能和价值主张。
由工程师、科学家和应用专家组成的经验丰富的tec5团队在整个实施过程中为合作伙伴和客户提供支持和协助,从概念设计到适应、工程和应用支持。
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