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Interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined parts.
TOPOS interferometers operate according to the principle of grazing incidence of light. The flatness of also rougher parts can be measured, which show no more fringe pattern with optical flats or Fizeau-interferometers. Next to lapped or ground parts also polished parts can be measured.
By default, TOPOS flatness measuring instruments are available with two different sizes of measuring field: with a diameter of 100mm or 50m. An adaptation towards special sizes is possible according to request.
The parts may consist of diverse materials:
Examples of application areas:
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第三代超稳定平台和专有软件是超过25年的经验的结晶。FRT多传感器概念和混合测量技术支持世界各地的生产线。其应用是非接触和全自动的。测量参数有地形、台阶高度、粗糙度、TTV、曲率、翘曲度、张力、层和叠层厚度、叠层和CD - 以及更多。
不同的测量方法可以与点、线和面积传感器以及层厚传感器和原子力显微镜结合在一个测量设备和配方中。
屡获殊荣的测量系统提供（也是全自动的）关于地形、结构、台阶高度、粗糙度、磨损、层厚和许多其他参数的信息，非接触和非破坏性。
根据不同的应用，不同的测量方法与点、线、面积和层厚传感器以及原子力显微镜可以结合在一个测量设备中 - 测量范围可以从一米延伸到亚纳米范围。
为了在无接触的情况下对精密制造的功能表面进行三维表征，您需要可靠、快速和精确的测量技术。Polytec 的 TopMap 光学轮廓仪代表了一种创新的光学表面测量技术，可对粗糙、光滑或阶梯状表面的形状参数、粗糙度和纹理进行可靠而精确的评估。TopMap 表面测量技术的白光干涉仪适用于测试实验室和生产控制。
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