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- 平面度测量仪 - Lamtech interferometers are based on the principle of grazing incidence of light, thus matte as well as polished parts ca...
- 平面度测量仪 - It is possible to measure parts with a diameter up to 620mm
- 平面度测量仪 - interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined as well as polished precision p...
描述
Interferometric measuring systems for non-contact flatness measurement of finish-machined parts.
TOPOS interferometers operate according to the principle of grazing incidence of light. The flatness of also rougher parts can be measured, which show no more fringe pattern with optical flats or Fizeau-interferometers. Next to lapped or ground parts also polished parts can be measured.
技术资料The absolute accuracy is up to 0.1µm over the entire measurement area The time of measurement takes less than 2 seconds Due to the non-contact process, the measurement instruments can be applied in the 100% control Due to the extension by a cross- or rotary table it is possile to measure parts with an outer diameter of 620mm
By default, TOPOS flatness measuring instruments are available with two different sizes of measuring field: with a diameter of 100mm or 50m. An adaptation towards special sizes is possible according to request.
应用领域metal (steel, aluminium, bronze, copper, etc.) ceramic (AL2O3, SiC, SiN, etc.) plastic material (thermoplastic, thermoset etc.) graphite components of fuel and diesel pumps pumps for power steering water pumps cutting tools control valves sealing valves mechanical seals ceramic sealing discs sealing components
查看更多 The parts may consist of diverse materials:
Examples of application areas:
- 平面度测量仪 | 尺寸测量仪、量纲测量仪
- 平面度测量仪
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- 平面度测量仪 | 成型车刀装置、成型车刀系统
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关于我们
查看更多 FRT是世界领先的用于研发和大规模生产的三维计量学供应商之一。FRT MicroProf®在半导体前端、高级封装、MEMS、VCSEL、汽车、机械工程、光学、LED和医疗市场都有一定的地位。
第三代超稳定平台和专有软件是超过25年的经验的结晶。FRT多传感器概念和混合测量技术支持世界各地的生产线。其应用是非接触和全自动的。测量参数有地形、台阶高度、粗糙度、TTV、曲率、翘曲度、张力、层和叠层厚度、叠层和CD - 以及更多。
不同的测量方法可以与点、线和面积传感器以及层厚传感器和原子力显微镜结合在一个测量设备和配方中。
屡获殊荣的测量系统提供（也是全自动的）关于地形、结构、台阶高度、粗糙度、磨损、层厚和许多其他参数的信息，非接触和非破坏性。
根据不同的应用，不同的测量方法与点、线、面积和层厚传感器以及原子力显微镜可以结合在一个测量设备中 - 测量范围可以从一米延伸到亚纳米范围。
第三代超稳定平台和专有软件是超过25年的经验的结晶。FRT多传感器概念和混合测量技术支持世界各地的生产线。其应用是非接触和全自动的。测量参数有地形、台阶高度、粗糙度、TTV、曲率、翘曲度、张力、层和叠层厚度、叠层和CD - 以及更多。
不同的测量方法可以与点、线和面积传感器以及层厚传感器和原子力显微镜结合在一个测量设备和配方中。
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根据不同的应用，不同的测量方法与点、线、面积和层厚传感器以及原子力显微镜可以结合在一个测量设备中 - 测量范围可以从一米延伸到亚纳米范围。
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